Modo de bloqueo de puertas Horno de deposición al vacío para dispositivos de grafito y semiconductores

El horno de deposición al vacío se utiliza para la preparación de materiales compuestos carbono-carbono,y el horno de deposición se utiliza principalmente para la preparación de recubrimiento pirolítico de carbono en la superficie del grafito, dispositivos semiconductores y materiales de limpieza resistentes al calor.

Aplicación:

Grafito, dispositivos semiconductores, materiales de limpieza resistentes al calor.

1Parámetros básicos:

1) Temperatura de diseño: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) Temperatura común: 900~1200°C

3) Grado de vacío: < 50 Pa

4) Tasa de aumento de la presión: 6,67 pA/h (o 150 Pa/24h) en el estado frío del horno vacío

5) Modo de calefacción: calefacción por resistencia al grafito o calefacción por inducción, control de temperatura independiente, buena uniformidad de temperatura

6) Medio atmosférico: vacío /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) Modo de control del gas: control del caudalímetro de masa, trayectoria de gas multicanal, campo de flujo uniforme, sin ángulo muerto de deposición, buen efecto de deposición;

Sistema de tratamiento de gases de escape de varias etapas y eficiente, respetuoso con el medio ambiente, fácil de limpiar;

8) Tipo de horno: estructura cuadrada, redonda, vertical u horizontal (diseño no estándar), cámara de deposición completamente cerrada, buen efecto de sellado, fuerte capacidad antipolución;

9) Modo de refrigeración del horno: refrigeración del agua de la cáscara del horno, se puede seleccionar un sistema de refrigeración rápida de circulación externa, tiempo de refrigeración corto, alta eficiencia de producción;

2. Estructura del horno de deposición al vacío:

Forma de la estructura: descarga horizontal - lateral, vertical - hacia arriba/hacia abajo

Modo de bloqueo de la puerta del horno: manual/automático

Material de la cáscara del horno: acero inoxidable interior/todo acero inoxidable

Material aislante: fieltro de carbono/fieltro de grafito/fieltro curado de fibra de carbono

Material del calentador y de las muffles: grafito/CFC

Instrumento infrarrojo: colorímetro único/colorímetro doble

Fuente de alimentación: KGPS/IGBT ((sólo adecuado para calefacción de media frecuencia)

Especificación del producto: